一种半导体器件及其制备方法和电子装置

Abstract

本发明涉及一种半导体器件及其制备方法和电子装置。所述方法包括:提供晶圆,在所述晶圆上形成有若干相互间隔的图像传感器器件;在所述晶圆和所述图像传感器器件的上方隔离地形成涂覆支撑结构,以在所述涂覆支撑结构与所述晶圆之间形成隔离空间,并且所述涂覆支撑结构中形成有孔结构;在所述涂覆支撑结构上涂覆干燥固化胶并填充所述孔结构;在所述孔结构的上方通过空气喷枪将所述孔结构中的所述干燥固化胶喷射至所述晶圆上,以形成环绕所述图像传感器器件的保护环。所述方法避免了所述涂覆支撑结构(例如金属滤网)与所述晶圆和所述图形传感器器件直接接触,避免了工艺过程造成晶圆表面缺陷的问题,使CMOS图像传感器的性能和良率进一步提高。

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